Science

Veröffentlichungen in Fachzeitschriften

T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153

Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II

Th. Fabula, A. Schroth: „Simulation des dynamischen Verhal­tens mikromechanischer Membranen“, VDI-Fachtagung für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, TU Chemnitz, 16.-18. März 1992, erschienen in: VDI-Bericht 960, VDI-Verlag Düsseldorf (1992)

M. Alavi, Th. Fabula, A. Schumacher, H.-J. Wagner: „Mono­lithic Microbridges in Silicon Using Laser Machining and Anisotropic Etching“, EUROSENSORS VI, San Sebastian (1992), veröffentlicht in Sensors and Actuators A, 37-38 (1993) 661-665

Th. Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung resonanter Senso­ren“, in: Abschlußbericht zum BMFT-Verbundprojekt „Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren“, VDI-VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, Berlin (1993)

H. Pavlicek, G. Wachutka, T. Fabula, N. Hey, H. Haffner, T. Feudel, R. Strecker: UETP-MEMS, „CAD Tools for MEMS“, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1993)

H. Bartuch, S. Büttgenbach, Th. Fabula, H. Weiss: „Resonante Silizium-Sensoren mit elektro-thermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie“, Tagungsunterlagen SENSOR 93, Band 2 (1993) 17-24

Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt, S. Büttgenbach: „Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films“, EUROSENSORS VII, Budapest (1993), veröffent­licht in Sensors and Actuators A41-42 (1994) 375-380

A. Schumacher, Th. Fabula, H.-J. Wagner and M. Alavi: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Transducer with Piezoelectric Excitation Fabricated by Laser Micromachining“, EUROSEN­SORS VII, Budapest (1993)

K. Funk, T. Fabula, G. Flik and F. Lärmer: „Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk“, Proc. MME’94, Pisa, Italy (1994)

H. Bartuch, S. Büttgenbach, S. Dagenbach, T. Fabula, D. Fischle, G. Flik, W. Hartig, F. Lärmer, K.P. Selig, H.-J. Wagner: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren. Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik, Band 7. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH (1994)

T. Fabula, H.-J. Wagner, A. Prak: UETP-MEMS, „Resonant Microsensors“, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1994)

A. Schumacher, M. Alavi, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructure for Sensor Applications“, Proc. Micro System Technologies 94, Berlin (1994) 309-316

S. Büttgenbach, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Resonant force and pressure microsensors“, SENSOR 95, Nürnberg

H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt: „Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications“, Micro System Technologies 1 (1995) 191-195

Th. Fabula and S. Büttgenbach: „Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors“, Sensors and Materials, Special Issue Resonant Microsensors (invited paper), Sensors and Materials, Vol. 9, No. 8 (1997) 501-519

 

Vorträge und Invited Papers

„Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik“, Fortbildungsseminar: „Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente“, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 17.-18. Februar 1992

„Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen“, Industry-University-Workshop on Numerical Modelling and Simulation of Sensors, Swiss Federal Institute of Technology, ETH-Zürich, 17. September 1992

„Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung“, ANSYS Users´Meeting, Arolsen, 28.-30. Oktober 1992

„Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Institut für technische Akustik der Technischen Universität Dresden, 2. Dezember 1992

Th. Fabula, N. Hey, K. Hiltmann, H. Pavlicek, I. Rehfeld: „Dynamische FE-Berechnungen / Gekoppelte Feldberechnungen / Erforderliche Rechner- und Programmausstattung / Praktische Übungen“, im Fortbildungsseminar: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik“,
Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 10.-11. Dezember 1992

„Finite-Elemente-Modellierung resonanter Sensoren“, Öffentliches Abschlußseminar zum BMFT-Verbundprojekt „Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren“, Villingen-Schwenningen, 31. März 1993

B. Schmidt, Th. Fabula: „Charakterisierung piezoelektrischer Dünnschichten durch resonante Strukturen“, Mikrotechnik Arbeitskreis KfK, Karlsruhe, 27. April 1993

Th. Fabula, N. Hey, S. Messner: „Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors“, CADFEM Users´ Meeting, Bamberg, 27.-29. Oktober 1993

M. Freygang, Th. Fabula, „Schwingungsmessungen an mikromechanischen Bauelementen“, Laservibrometerseminar, Polytec GmbH, Waldbronn, 14.-15. Juni 1994

A. Bakic, T. Fabula, „CAD-FEM-Kopplung am Beispiel von CATIA und ANSYS“, CADFEM-Users´ Meeting, Bad Wildungen, 25.-27. Oktober 1995

Seminar: Mikrotechnik im Automobil, „Design­optimierung mikrotechnischer Sensoren mit FE-Modellierung“, Haus der Technik e.V., Essen, 13.-14. Februar 1996

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, „Optimierung resonanter mikro­mechanischer Sensoren für mechanische Größen“, FH München,
12. März 1996

 

Patent

Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelementes, Germany DE4332653, September 1994

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