Science

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Veröffentlichungen in Fachzeitschriften

T. Brenner, S. Büttgenbach, T. Fabula, W. Rupprecht: „Real-time data acquisition system for laser and radiofrequency spectroscopy“, Journal of Physics E: Scientific Instruments, 21 (1988) 1150-1153

Thomas Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Mikroelektronik Bd. 6 (1992) Heft 1, Fachbeilage Mikroperipherik, S.II

Th. Fabula, A. Schroth: „Simulation des dynamischen Verhal­tens mikromechanischer Membranen“, VDI-Fachtagung für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, TU Chemnitz, 16.-18. März 1992, erschienen in: VDI-Bericht 960, VDI-Verlag Düsseldorf (1992)

M. Alavi, Th. Fabula, A. Schumacher, H.-J. Wagner: „Mono­lithic Microbridges in Silicon Using Laser Machining and Anisotropic Etching“, EUROSENSORS VI, San Sebastian (1992), veröffentlicht in Sensors and Actuators A, 37-38 (1993) 661-665

Th. Fabula: „Finite-Elemente-Modellierung resonanter Senso­ren“, in: Abschlußbericht zum BMFT-Verbundprojekt „Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren“, VDI-VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, Berlin (1993)

H. Pavlicek, G. Wachutka, T. Fabula, N. Hey, H. Haffner, T. Feudel, R. Strecker: UETP-MEMS, „CAD Tools for MEMS“, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1993)

H. Bartuch, S. Büttgenbach, Th. Fabula, H. Weiss: „Resonante Silizium-Sensoren mit elektro-thermischer Anregung und DMS in Metalldünnfilmtechnologie“, Tagungsunterlagen SENSOR 93, Band 2 (1993) 17-24

Th. Fabula, H.-J. Wagner, B. Schmidt, S. Büttgenbach: „Triple-Beam Resonant Silicon Force Sensor Based on Piezoelectric Thin Films“, EUROSENSORS VII, Budapest (1993), veröffent­licht in Sensors and Actuators A41-42 (1994) 375-380

A. Schumacher, Th. Fabula, H.-J. Wagner and M. Alavi: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Transducer with Piezoelectric Excitation Fabricated by Laser Micromachining“, EUROSEN­SORS VII, Budapest (1993)

K. Funk, T. Fabula, G. Flik and F. Lärmer: „Piezoelectrical driven resonant force sensor: fabrication and crosstalk“, Proc. MME ’94, Pisa, Italy (1994)

H. Bartuch, S. Büttgenbach, S. Dagenbach, T. Fabula, D. Fischle, G. Flik, W. Hartig, F. Lärmer, K.P. Selig, H.-J. Wagner: Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren. Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik, Band 7. Teltow: VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH (1994)

T. Fabula, H.-J. Wagner, A. Prak: UETP-MEMS, „Resonant Microsensors“, Course Proceedings, FSRM Neuchatel, Schweiz (1994)

A. Schumacher, M. Alavi, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Monolithic Bridge-on-Diaphragm Microstructure for Sensor Applications“, Proc. Micro System Technologies 94, Berlin (1994) 309-316

S. Büttgenbach, Th. Fabula, B. Schmidt, H.-J. Wagner: „Resonant force and pressure microsensors“, SENSOR 95, Nürnberg

H.-J. Wagner, A. Schumacher, M. Alavi, T. Fabula, B. Schmidt: „Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications“, Micro System Technologies 1 (1995) 191-195

Th. Fabula and S. Büttgenbach: „Analytical and finite element modeling of resonant silicon microsensors“, Sensors and Materials, Special Issue Resonant Microsensors (invited paper), Sensors and Materials, Vol. 9, No. 8 (1997) 501-519

 

Vorträge und Invited Papers

„Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik“, Fortbildungsseminar: „Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente“, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 17.-18. Februar 1992

„Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen“, Industry-University-Workshop on Numerical Modelling and Simulation of Sensors, Swiss Federal Institute of Technology, ETH-Zürich, 17. September 1992

„Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung“, ANSYS Users´ Meeting, Arolsen, 28.-30. Oktober 1992

„Finite-Elemente-Modellierung in der Mikromechanik“, Institut für technische Akustik der Technischen Universität Dresden, 2. Dezember 1992

Th. Fabula, N. Hey, K. Hiltmann, H. Pavlicek, I. Rehfeld: „Dynamische FE-Berechnungen / Gekoppelte Feldberechnungen / Erforderliche Rechner- und Programmausstattung / Praktische Übungen“, im Fortbildungsseminar: „Finite-Elemente-Modellierung in der Mikrotechnik“, Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen, 10.-11. Dezember 1992

„Finite-Elemente-Modellierung resonanter Sensoren“, Öffentliches Abschlußseminar zum BMFT-Verbundprojekt „Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren“, Villingen-Schwenningen, 31. März 1993

B. Schmidt, Th. Fabula: „Charakterisierung piezoelektrischer Dünnschichten durch resonante Strukturen“, Mikrotechnik Arbeitskreis KfK, Karlsruhe, 27. April 1993

Th. Fabula, N. Hey, S. Messner: „Gekoppelte Feldberechnung eines mikromechanischen Strömungssensors“, CADFEM Users´ Meeting, Bamberg, 27.-29. Oktober 1993

M. Freygang, Th. Fabula, „Schwingungsmessungen an mikromechanischen Bauelementen“, Laservibrometerseminar, Polytec GmbH, Waldbronn, 14.-15. Juni 1994

A. Bakic, T. Fabula, „CAD-FEM-Kopplung am Beispiel von CATIA und ANSYS“, CADFEM-Users´ Meeting, Bad Wildungen, 25.-27. Oktober 1995

Seminar: Mikrotechnik im Automobil, „Design­optimierung mikrotechnischer Sensoren mit FE-Modellierung“, Haus der Technik e.V., Essen, 13.-14. Februar 1996

Fachtagung: Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, „Optimierung resonanter mikro­mechanischer Sensoren für mechanische Größen“, FH München,
12. März 1996

 

Patent

Monolithisch integriertes Halbleiterelement, dessen Verwendung sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelementes, Germany DE4332653, September 1994

List of Publications

tfconsult.com/publications

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